品牌: ALICAT
量程100 SCCM ,1000 SCCM,20 SLPM,50 SLPM
熱貼片原理,體積小巧精致,適合系統(tǒng)集成
100ms快速響應(yīng)時間,優(yōu)于2%精度
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-雙向型 22系列
品牌: ALICAT
量程-0.5SCCM~0.5SCCM到-3000SLPM~3000SLPM
量程比200:1
內(nèi)置98種氣體,100ms響應(yīng),優(yōu)于1%精度
ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列
品牌: ALICAT
量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
優(yōu)于1 %的精度
量程可控比寬,0.5~100 %滿量程
ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器 21V系列
品牌: ALICAT
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM
量程比 200:1
內(nèi)置98種氣體,100ms響應(yīng)時間,優(yōu)于1%精度
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-基本型 11系列
品牌: ALICAT
量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程(取最大值)
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程(取最大值)