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您當(dāng)前的位置：首頁(yè)產(chǎn)品中心ALICAT 低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 21W系列
量程0.5 SCCM - 1000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，量程可控比寬,優(yōu)于100 ms響應(yīng)時(shí)間
美國(guó)ALICAT 21W系列低壓降質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
應(yīng)用及案例
● 低溫容器檢測(cè)
● 大學(xué)/研究所
● 泄漏檢測(cè)
● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 汽車制造
● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)可控：質(zhì)量流量、體積流量和壓力
● 可選高精度：優(yōu)于0.6 %讀數(shù)
● 量程可控比寬，0.5~100 %滿量程
● 滿量程低壓損為480 Pa
● 閥門響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于150 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃（從清零溫度開始）
± 0.01% 滿量程 / Atm（從清零壓力開始）
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃（從25℃開始）
± 0.1 % 讀數(shù) / Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲(chǔ)20種混合氣
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可控比（穩(wěn)態(tài)） 0.5～100%滿量程
顯 示 屏 標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級(jí)部分見左下角
±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（量程5CCM和250-500SLPM可選）
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)誤差
重 復(fù) 性 ±（0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移 0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
控制響應(yīng)時(shí)間（T63調(diào)） ＜150ms(與量程有關(guān)，用戶可調(diào))
顯示響應(yīng)時(shí)間 ＜127ms（用戶可調(diào)）
預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 s
工作溫度 -10 ~ 60 ℃（環(huán)境和氣體）（可選高溫選項(xiàng)，氣體100℃，環(huán)境85℃）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無(wú)冷凝
工作壓力 11.5-60PSIA
壓力精度 ±0.75%讀數(shù)（＞1 Atm）；
±0.1PSIA（＜1Atm）
耐 壓： 80PSIA（靜壓）；10PSID（進(jìn)出口差壓）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認(rèn)）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5Vdc（默認(rèn)）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率；
模擬信號(hào)：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 12 - 30 VDC （與量程有關(guān)）
供電電流 250 mA，1 A，2 A；額外加 40 mA（ 4 - 20 mA輸出）
電氣接口 DB9M(默認(rèn))，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 主體材質(zhì)：302,303,304SS；
PCV閥門材質(zhì)：430FRSS和黃銅；
R閥門材質(zhì)：410SS；
密封材質(zhì)FKM；
傳感器材質(zhì)請(qǐng)咨詢工廠
過(guò)程接口 NPT內(nèi)螺紋（默認(rèn)），詳細(xì)規(guī)格參考?jí)簱p表；其他接口形式請(qǐng)咨詢
安裝方向 配置R閥門需閥體垂直向上安裝，其他閥門無(wú)要求
安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請(qǐng)咨詢
防護(hù)等級(jí) IP40（可選IP66）
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆 （可選）
待更新。
待更新。
滿量程低壓損氣體質(zhì)量流量控制器 | 滿量程壓損（psid） 排氣到大氣中 與閥門配置有關(guān) | 外形尺寸 | 過(guò)程接口 | 重量 |
0.5-20 sccm |
0.07 | 3.90''H x 3.34''W x 1.05''D | M5內(nèi)螺紋（10-32兼容） （隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭） | 1.1lb（約0.5kg） |
50-500 sccm | 0.07 | 4.07''H x 3.59''W x 1.05''D | 1/8'' NPT 內(nèi)螺紋 | 1.2lb（約0.5kg） |
1 slpm | 0.10 | |||
2 slpm | 0.18 | |||
5 slpm（配置R閥門） | 0.10 | 4.37''H x 5.41''W x 1.60''D | 1/4''NPT內(nèi)螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
10 slpm（配置R閥門） | 0.12 | |||
20 slpm（配置R閥門） | 0.26 | 4.37''H x 4.00''W x 1.60''D | ||
40 slpm | 0.14 | 5.50''H x 7.65''W x 2.25''D | 1/2'' NPT 內(nèi)螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
50 slpm | 0.17 | 5.50''H x 7.28''W x 2.25''D | 3/4'' NPT 內(nèi)螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
100 slpm | 0.30 | |||
250 slpm | 0.69 | |||
500 slpm | 0.69 | 5.50''H x 8.10''W x 2.90''D | 3/4'' NPT 內(nèi)螺紋 | 12lb（約5.4kg） |
1000 slpm | 1.65 | 6.27''H x 9.80''W x 3.84''D | 2'' NPT 內(nèi)螺紋 | 28lb（約12.7kg） |
品種齊全，上萬(wàn)種儀表
國(guó)外直銷， 原裝進(jìn)口
誠(chéng)信服務(wù)，售后保證
