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您當(dāng)前的位置:首頁產(chǎn)品中心ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-基本型 11系列
量程0-100 SCCM到0-250 SLPM,量程可控比0.01%-100%,低價(jià)位,響應(yīng)時(shí)間100 ms,精度優(yōu)于1%
美國ALICAT 11系列基本型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達(dá)到優(yōu)于100 ms的控制速度,并保持優(yōu)越的穩(wěn)定性。
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半導(dǎo)體 ● 汽車制造
● 光伏 ● 燃料電池
● 計(jì)量 ● 過程工藝氣體測(cè)量
產(chǎn)品特色
● 低價(jià)位產(chǎn)品
● 標(biāo)配模擬和數(shù)字信號(hào)
● 量程可控比0.01%-100%
● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了 98 種氣體,請(qǐng)參考背面,一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0-100 SCCM 到 0-250 SLPM(詳情請(qǐng)咨詢)
測(cè)量和控制范圍 0.01~100% 滿量程
最大顯示流量 102.4%FS
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程
重 復(fù) 性 ±(0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)
零點(diǎn)&滿量程溫度漂移: 0.02% FS / ℃ (從25 ℃開始)
零點(diǎn)&滿量程壓力漂移: ±(0.08% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)(從校準(zhǔn)壓力開始)
預(yù)熱時(shí)間 <1s
響應(yīng)時(shí)間 100 ms(可調(diào))
默認(rèn)標(biāo)況(STP) 25 ℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))
工作溫度 -10 ~ +60 ℃
工作濕度 0 - 95%,無冷凝
上限工作壓力 1 MPa 表壓
極限耐壓 1.1 MPa 表壓
下限操作壓力 建議在絕壓 80 KPa 以上使用(其他請(qǐng)咨詢)
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)
供電電壓 12-24VDC (如選4-20 mA輸出,須為15-24 VDC)供電電流 250 mA,1 A(詳情咨詢)額外加40 mA(選4 - 20 mA)
電氣接口 DB9M
材 質(zhì) 302、303、304、316L、430FR 不銹鋼、 FKM氟橡膠、 陶瓷、
銅、玻璃、金、環(huán)氧樹脂、硅橡膠、 聚酰胺、硅
安裝方式 對(duì)位置無要求
防護(hù)等級(jí) IP40
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