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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列

量程0.5 SCCM - 10000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，100 ms 快速響應(yīng)

美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書?？捎糜诳焖倬_地測量并控制腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。

應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所                 ● 汽車制造

● 環(huán)境監(jiān)測                      ● 計量校準

● 真空行業(yè)及鍍膜           ● 過程工藝氣體測量

● 工業(yè)爐窯


產(chǎn)品特色


● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

l可適用于多種腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣



技術(shù)指標


介質(zhì)要求    潔凈、干燥的腐蝕性和非腐蝕性氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了130種氣體，用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

量       程    從0-0.5 SCCM   到   0-10000 SLPM

量程可控比（穩(wěn)態(tài)）：1-100%滿量程

顯 示 屏    標準為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精      度    ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）

                 ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（量程5 SCCM - 500 SLPM可選）

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)額外誤差

重 復(fù) 性    ± 0.2 %滿量程

質(zhì)量流量零點和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量零點和滿量程壓力漂移    ±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)（從校準壓力開始）

控制響應(yīng)時間(T63)    30-4000ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）

顯示響應(yīng)時間：      10-4000ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）

預(yù)熱時間    ＜ 1 s

工作溫度    -10 ~ 60 ℃（環(huán)境和氣體）（可選高溫選項，氣體100℃，環(huán)境85℃）

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0  ～ 95 %，無冷凝

工作壓力    11.5-160PSIA

壓力精度    ±0.5%滿量程

耐壓    200PSIA（靜壓）；75PSID（進出口差壓）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數(shù)字輸入/輸出信號    RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸入/輸出信號    0-5Vdc（默認）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@19200波特率；

                       模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程誤差

供電電壓    12-30 VDC （與量程相關(guān)）

供電電流    250 mA，1 A，2 A（與量程相關(guān)，詳情咨詢）

                   額外加 40 mA（ 4–20 mA輸出 ）

電氣接口    DB9M(默認)，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    主體和傳感器材質(zhì)：316L和303SS

                 PCV閥門材質(zhì)：430FRSS

                R閥門材質(zhì)：410SS

密封材質(zhì)：FFKM（默認），可根據(jù)特殊氣體選用FKM或EPDM

過程接口    NPT內(nèi)螺紋（默認），詳細規(guī)格參考壓損表；其他接口形式請咨詢

安裝方向    建議與地面垂直安裝

安裝固定孔    8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請咨詢

防護等級    IP40（可選IP66）

認      證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆 （可選）


選項配件


機構(gòu)認證


待更新。


尺寸詳圖


                                  ALICAT 21S系列19V1.jpg


尺寸壓損


滿量程耐腐蝕質(zhì)量流量控制器

滿量程壓損（psid）

排氣到大氣中

默認閥門配置

外形尺寸

過程接口

重量

0.5sccm

1.0

4.40''H ×3.34''W ×1.05''D

M5內(nèi)螺紋（10-32兼容）

（隨貨帶FFKM面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭）


1-5sccm

2.0

1.1lb（約0.5kg）

10sccm

2.8


50sccm

1.0


100-500 sccm

1.0

4.57''H ×3.59''W ×1.05''D

1/8''NPT內(nèi)螺紋


1slpm

1.5

1.2lb（約0.5kg）

2slpm

3.0


5slpm

2.0


10slpm

5.5


20slpm

20.0


50-100slpm（配置R閥門）

2.5

5.69''H ×7.65''W ×2.25''D

1/4''NPT內(nèi)螺紋

9.0lb（約4.1kg）

250 slpm

2.4

5.99''H ×7.65''W ×2.25''D

1/2''NPT內(nèi)螺紋

9.0lb（約4.1kg）

500 slpm

6.5

5.99''H ×7.28''W ×2.25''D

3/4''NPT內(nèi)螺紋

 

9.0lb（約4.1kg）

 

1000 slpm

14.0


2000 slpm

28.6

5.99''H ×8.10''W ×2.90''D

3/4''NPT內(nèi)螺紋

12lb（約5.4kg）

 

3000 slpm

16.8

5.99''H ×8.10''W ×2.90''D

1-1/4''NPT內(nèi)螺紋

12lb（約5.4kg）

 

5000 slpm

14.1

7.08''H ×10.00''W ×4.50''D

1-1/2''NPT內(nèi)螺紋

28lb（約12.7kg）

 

10000 slpm

12.0

9.66''H ×9.66''W ×6.33''D

1-1/2''NPT內(nèi)螺紋

23lb（約10.4kg）




產(chǎn)品大圖


MCS-1SLPM-D-DB9M-PCA13-P10-A030_WEB 拷貝.png


型號列表


見“尺寸壓損”。


氣體編碼


選型表截圖長圖.png

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。