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ALICAT(艾里卡特) OEM氣體質(zhì)量流量控制器 IMC系列

量程0-0.5 SCCM到0-20 SLPM,低價(jià)位,響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于50 ms,精度優(yōu)于0.8%RD

美國(guó)ALICAT IMC系列OEM型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的IMC系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量并控制過(guò)程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達(dá)到優(yōu)于50 ms的控制速度,并保持極佳穩(wěn)定性。

應(yīng)用及案例

●生物發(fā)酵

l環(huán)境監(jiān)測(cè)

● 真空鍍膜

● 半導(dǎo)體

● 汽車制造

● 光伏

● 燃料電池



產(chǎn)品特色

  •  低價(jià)位OEM產(chǎn)品

  • 多參數(shù)輸出:溫度、壓力、流量等

  •  量程可控比寬,0.2~100%滿量程

  •   響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于50 ms

  • l鋁主體材質(zhì),更輕的質(zhì)量。



技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求

非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類

內(nèi)置了30種氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)切換

量程

從0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM(詳情請(qǐng)咨詢)

量程可控比(穩(wěn)態(tài))

 0.2~100%滿量程(500:1)

質(zhì)量流量精度 

±0.8 %讀數(shù)或 ± 0.2 %滿量程,取大值

重 復(fù) 性(2σ)

±(0.15% 讀數(shù) + 0.05% 滿量程)

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移

 0.025%滿量程/ ℃(從25℃開始)

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)漂移

:+0.02 % 滿量程/ Atm(從清零壓力開始)

質(zhì)量流量壓力滿量程漂移 

±0.2 % 讀數(shù)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)

控制響應(yīng)時(shí)間(T63)

<50ms(與流量相關(guān),用戶可調(diào))

顯示響應(yīng)時(shí)間 

<10ms(與流量相關(guān))

傳感器響應(yīng)時(shí)間 

1ms

預(yù)熱時(shí)間

<1s

工作溫度

0 ~ +60 oC(環(huán)境和氣體)

溫度精度

± 0.75℃

工作濕度

0-95%,無(wú)冷凝

工作壓力

11.5-160PSIA

壓力精度

±0.5%讀數(shù)(>1Atm),或±0.07PSIA(<1Atm)

耐壓:20

0PSIA(靜壓);75PSID(進(jìn)出口差壓)

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)

RS232串口和Modbus RTU(默認(rèn));可選RS485串口和Modbus RTU

模擬輸入/輸出信號(hào)

0-5Vdc(默認(rèn));可選1-5Vdc,0-10Vdc或4-20mA

模擬信號(hào)精度 

在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

數(shù)據(jù)刷新頻率

數(shù)字信號(hào)40Hz@19200波特率;


模擬信號(hào):1000Hz

供電電壓

12-24 VDC

供電電流

250mA;模擬輸出選擇4 - 20 mA則為290mA

電氣接口

DB9M

材質(zhì)   

主體材質(zhì):鋁;

閥門材質(zhì):430FRSS和黃銅;

密封材質(zhì)FKM;

傳感器材

質(zhì)請(qǐng)咨詢工廠

過(guò)程接口

NPT內(nèi)螺紋,詳細(xì)規(guī)格參考?jí)簱p表

安裝方向

無(wú)要求

安裝固定孔

2×8-32UNC螺紋,孔深0.328"

防護(hù)等級(jí)

IP40

LED狀態(tài)指示燈

供電,通訊和故障



尺寸壓損


滿量程OEM質(zhì)量流量控制器

滿量程壓損(psid

排氣到大氣中

默認(rèn)閥門配置

外形尺寸

過(guò)程接口

重量

 

0.5 sccm

1.0

3.67''H ×3.55''W ×1.05''D

 

M5內(nèi)螺紋10-32兼容

(隨貨Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭)

0.6lb(約0.3kg

1-5sccm

2.0

10sccm

2.8

20-50sccm

1.0

100 sccm - 500 sccm

1.0

1/8''NPT內(nèi)螺紋

1 slpm

1.5

2 slpm

3.0

5 slpm

2.0

10 slpm

5.5

20 slpm

12.0



尺寸詳圖


尺寸圖DOC-SPECS-IMC.png



尺寸大圖


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