產(chǎn)品中心
Product Center
您當(dāng)前的位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心ALICAT(艾里卡特) OEM氣體質(zhì)量流量控制器 IMC系列
量程0-0.5 SCCM到0-20 SLPM,低價(jià)位,響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于50 ms,精度優(yōu)于0.8%RD
美國(guó)ALICAT IMC系列OEM型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的IMC系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量并控制過(guò)程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達(dá)到優(yōu)于50 ms的控制速度,并保持極佳穩(wěn)定性。
●生物發(fā)酵
l環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空鍍膜
● 半導(dǎo)體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
產(chǎn)品特色
低價(jià)位OEM產(chǎn)品
多參數(shù)輸出:溫度、壓力、流量等
量程可控比寬,0.2~100%滿量程
響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于50 ms
l鋁主體材質(zhì),更輕的質(zhì)量。
介質(zhì)要求 | 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體 |
介質(zhì)種類 | 內(nèi)置了30種氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)切換 |
量程 | 從0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM(詳情請(qǐng)咨詢) |
量程可控比(穩(wěn)態(tài)) | 0.2~100%滿量程(500:1) |
質(zhì)量流量精度 | ±0.8 %讀數(shù)或 ± 0.2 %滿量程,取大值 |
重 復(fù) 性(2σ) | ±(0.15% 讀數(shù) + 0.05% 滿量程) |
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移 | 0.025%滿量程/ ℃(從25℃開始) |
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)漂移 | :+0.02 % 滿量程/ Atm(從清零壓力開始) |
質(zhì)量流量壓力滿量程漂移 | ±0.2 % 讀數(shù)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開始) |
控制響應(yīng)時(shí)間(T63) | <50ms(與流量相關(guān),用戶可調(diào)) |
顯示響應(yīng)時(shí)間 | <10ms(與流量相關(guān)) |
傳感器響應(yīng)時(shí)間 | 1ms |
預(yù)熱時(shí)間 | <1s |
工作溫度 | 0 ~ +60 oC(環(huán)境和氣體) |
溫度精度 | ± 0.75℃ |
工作濕度 | 0-95%,無(wú)冷凝 |
工作壓力 | 11.5-160PSIA |
壓力精度 | ±0.5%讀數(shù)(>1Atm),或±0.07PSIA(<1Atm) |
耐壓:20 | 0PSIA(靜壓);75PSID(進(jìn)出口差壓) |
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) | RS232串口和Modbus RTU(默認(rèn));可選RS485串口和Modbus RTU |
模擬輸入/輸出信號(hào) | 0-5Vdc(默認(rèn));可選1-5Vdc,0-10Vdc或4-20mA |
模擬信號(hào)精度 | 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差 |
數(shù)據(jù)刷新頻率 | 數(shù)字信號(hào)40Hz@19200波特率; |
模擬信號(hào):1000Hz | |
供電電壓 | 12-24 VDC |
供電電流 | 250mA;模擬輸出選擇4 - 20 mA則為290mA |
電氣接口 | DB9M |
材質(zhì) | 主體材質(zhì):鋁; |
閥門材質(zhì):430FRSS和黃銅; | |
密封材質(zhì)FKM; | |
傳感器材 | 質(zhì)請(qǐng)咨詢工廠 |
過(guò)程接口 | NPT內(nèi)螺紋,詳細(xì)規(guī)格參考?jí)簱p表 |
安裝方向 | 無(wú)要求 |
安裝固定孔 | 2×8-32UNC螺紋,孔深0.328" |
防護(hù)等級(jí) | IP40 |
LED狀態(tài)指示燈 | 供電,通訊和故障 |
滿量程OEM質(zhì)量流量控制器 | 滿量程壓損(psid) 排氣到大氣中 默認(rèn)閥門配置 | 外形尺寸 | 過(guò)程接口 | 重量
|
0.5 sccm | 1.0 | 3.67''H ×3.55''W ×1.05''D
| M5內(nèi)螺紋(10-32兼容) (隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭) | 0.6lb(約0.3kg) |
1-5sccm | 2.0 | |||
10sccm | 2.8 | |||
20-50sccm | 1.0 | |||
100 sccm - 500 sccm | 1.0 | 1/8''NPT內(nèi)螺紋 | ||
1 slpm | 1.5 | |||
2 slpm | 3.0 | |||
5 slpm | 2.0 | |||
10 slpm | 5.5 | |||
20 slpm | 12.0 |