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ALICAT 氣體質(zhì)量流量計-抗腐蝕型 20S系列

量程0.5 SCCM -10000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度

美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量計，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。

應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所

● 泄漏檢測

● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 工業(yè)爐窯

● 半 導(dǎo) 體

● 汽車制造

● 計量校準(zhǔn)

● 過程工藝氣體測量


產(chǎn)品特色


● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣



技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    潔凈、干燥的腐蝕性和非腐蝕性氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了130種氣體，用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲20種混合氣

量       程    從0-0.5 SCCM   到   0-10000 SLPM

測量范圍（量程比）    1～100%滿量程

顯 示 屏    標(biāo)準(zhǔn)為LCD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）

                  ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（量程5 SCCM - 500 SLPM可選）

累計流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重   復(fù)  性    ± 0.2 %滿量程

質(zhì)量流量零點和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量零點和滿量程壓力漂移    ±(0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程)（從校準(zhǔn)壓力開始）

顯示響應(yīng)時間：10-4000ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）

預(yù)熱時間    ＜1 s

工作溫度    -10 ~ 60 ℃（環(huán)境和氣體）（可選高溫選項，氣體100℃，環(huán)境85℃）

溫度精度    ±0.75℃

工作濕度    0 ～95 %，無冷凝

工作壓力    11.5-160PSIA

壓力精度    ±0.5%滿量程

耐         壓    200PSIA（靜壓）；75PSID（進(jìn)出口差壓）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)字輸出信號    RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認(rèn)）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸出信號    0-5Vdc（默認(rèn)）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；

                模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24VDC （如選4-20 mA或0-10Vdc輸出，須為12 - 24 VDC ）

供電電流    40mA ；額外增加40mA輸出電流對于4-20 mA輸出

電氣接口    DB9M(默認(rèn))，可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

接液材質(zhì)    主體和傳感器材質(zhì)：316LSS

密封材質(zhì)：FFKM（標(biāo)準(zhǔn))，可根據(jù)特殊氣體選用FKM、EPDM等密封材質(zhì)

過程接口    NPT內(nèi)螺紋（默認(rèn)），詳細(xì)規(guī)格參考壓損表；其他接口形式請咨詢

安裝方向    建議與地面垂直安裝

安裝固定孔    8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請咨詢

防護(hù)等級    IP40（IP66可選）

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆（可選）



選項配件


機構(gòu)認(rèn)證


尺寸詳圖


                              ALICAT 20S系列-尺寸圖.jpg


尺寸壓損


滿量程耐防腐質(zhì)量流量計

滿量程壓損（psid）

排氣到大氣中

外形尺寸

過程接口

重量

0.5sccm - 50 sccm

1.0

4.40''H ×2.38''W ×1.05''D

M5內(nèi)螺紋（10-32兼容）

（隨貨帶FFKM面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭）

約0.8lb(0.4kg)

100 sccm - 20 slpm

1.0

4.57''H ×2.38''W ×1.05''D

1/8''NPT內(nèi)螺紋

約1.0lb(0.5kg)

50 slpm

2.0

5.07''H ×4.00''W ×1.60''D

1/4''NPT內(nèi)螺紋

約2.8lb(1.3kg)

100 slpm

2.5

250 slpm

2.1

5.67''H ×4.00''W ×1.60''D

1/2''NPT內(nèi)螺紋

約3.5lb(1.6kg)

500 slpm

4.0

5.67''H ×4.00''W ×1.60''D

3/4''NPT內(nèi)螺紋

 

約3.5lb(1.6kg)

1000 slpm

6.0


2000 slpm

5.0

5.99''H ×5.20''W ×2.90''D

3/4''NPT內(nèi)螺紋

 

約4.5lb(2.0kg)

3000 slpm

7.1

5.99''H ×5.20''W ×2.90''D

1-1/4''NPT內(nèi)螺紋

約4.5lb(2.0kg)

5000 slpm

3.4

7.08''H ×5.60''W ×3.84''D

1-1/2''NPT內(nèi)螺紋

約14.0lb(6.4kg)

10000 slpm

3.5

7.08''H ×5.60''W ×3.84''D

1-1/2''NPT內(nèi)螺紋

約14.0lb(6.4kg)


產(chǎn)品大圖


20S封面.jpg


型號列表


見“尺寸壓損”。


氣體編碼


選型表截圖長圖.png

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。