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ALICAT 標(biāo)準(zhǔn)型氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列

滿量程0.5 SCCM - 10000 SLPM,優(yōu)于1%的精度,測量范圍廣,優(yōu)于10 ms響應(yīng)時(shí)間

ALICAT 20系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量計(jì),采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可用于快速精確地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測控場合。

應(yīng)用及案例 


●  大學(xué)/研究所           ●  泄漏檢測
●  環(huán)境監(jiān)測                ●  真空行業(yè)及鍍膜
●  工業(yè)爐窯                ●  半  導(dǎo)  體
●  汽車制造                ●  光       伏
●  燃料電池                ●  計(jì)量校準(zhǔn)
●  過程工藝氣體測量



產(chǎn)品特色 



●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

●  可選高精度:優(yōu)于0.5%讀數(shù)

●  可測范圍廣,0.01~100%滿量程

●  響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于10 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣



技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體,用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體 (最多5種成分),并最多存儲20種混合氣

量      程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 10000 SLPM

測量范圍(量程比)    0.01~100%滿量程

顯 示 屏   標(biāo)準(zhǔn)為LCD單色顯示屏(帶背光),可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度等

精       度    ± (0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)精度升級部分見左下角

                ± (0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)(量程5CCM和50-500SLPM可選)

累計(jì)流量精度    流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差

重   復(fù)   性    ± (0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程)

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃(從25℃開始)

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移    ±(0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)

響應(yīng)時(shí)間    <10 ms (與流量相關(guān))  

預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

工作溫度   -10 ~ 60 ℃(環(huán)境和氣體)(可選高溫選項(xiàng),氣體100℃,環(huán)境85℃)

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ~ 95%,無冷凝

工作壓力    11.5-160PSIA

壓力精度    ± 0.5 % 讀數(shù)(讀數(shù)>1 Atm),或 ± 0.07 PSIA(<1Atm)

耐       壓    200PSIA(靜壓);75PSID(進(jìn)出口差壓)

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)字輸出信號   RS232/RS485串口和Modbus RTU(默認(rèn));可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet

模擬輸出信號    0-5Vdc(默認(rèn));可選1-5Vdc,0-10Vdc或4-20mA

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率;

                        模擬信號:1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC (如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出,須為12 - 24VDC)

供電電流    40mA,額外加40 mA(4 - 20 mA輸出)

電氣接口    DB9M(默認(rèn)),可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等

泄漏率(外漏)    選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材     質(zhì)   主體材質(zhì):302,303,304,316LSS;密封材質(zhì)FKM;傳感器材質(zhì)請咨詢工廠  

過程接口    NPT內(nèi)螺紋(默認(rèn)),詳細(xì)規(guī)格參考壓損表;其他接口形式請咨詢

安裝方向    位置不敏感

安裝固定孔    8-32UNC螺紋,數(shù)量和孔深與量程相關(guān),具體請咨詢

防護(hù)等級    IP40(IP66可選)

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH、防爆(可選)



精度升級


滿量程為0.5 SCCM -10000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標(biāo)升級:

質(zhì)量流量普通精度    ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

質(zhì)量流量高精度      ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)

重復(fù)性                   ±(0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃(從清零溫度開始)

                                ± 0.01%滿量程/ Atm(從清零壓力開始)

質(zhì)量流量滿量程漂移    ± 0.01%讀數(shù)/ ℃(從25℃開始)

                                 ± 0.1 %讀數(shù)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)




選項(xiàng)配件


●  標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
內(nèi)置30種氣體可選
200:1量程可調(diào)比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保


●  可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
另一種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過高或過低)
雙向流動
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體(最多4種)
定制流量范圍


機(jī)構(gòu)認(rèn)證



尺寸詳圖


                      尺寸圖.jpg




尺寸圖20-M-5000SLPM-D.jpg



尺寸連接


滿量程標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量計(jì)

滿量程壓損(psid)

排氣到大氣中

外形尺寸

過程接口

重量

0.5 - 50 sccm

 

1.0

3.90''H ×2.38''W ×1.05''D

M5內(nèi)螺紋(10-32兼容)

(隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭)

0.8lb(約0.4kg)

100 sccm - 20 slpm

1.0

4.07''H ×2.38''W ×1.05'D

1/8''NPT內(nèi)螺紋

1.0lb(約0.5kg)

50 slpm

2.0

4.37''H ×4.00''W ×1.60''D

1/4''NPT內(nèi)螺紋

2.4lb(約1.1kg)

100 slpm

2.5

250 slpm

2.1

4.97''H ×4.00''W ×1.60''D

1/2''NPT內(nèi)螺紋

2.4lb(約1.1kg)

500 slpm

4.0

4.97''H ×4.00''W ×1.60''D

3/4''NPT內(nèi)螺紋

 

3.5lb(約1.6kg)

1000 slpm

6.0

2000 slpm

5.0

5.29''H ×5.20''W ×2.90''D

4.5lb(約2.0kg)

3000 slpm

7.1

5.29''H ×5.20''W ×2.90''D

1-1/4''NPT內(nèi)螺紋

4.5lb(約2.0kg)

5000 slpm

3.4

6.27''H ×5.20''W ×3.84''D

1-1/2''NPT內(nèi)螺紋

14lb(約6.4kg)

10000slpm

3.5

6.27''H ×5.20''W ×3.84''D

1-1/2''NPT內(nèi)螺紋

14lb(約6.4kg)



產(chǎn)品大圖


20封面.jpg



型號列表


見“尺寸連接”。



氣體編碼


氣體編碼.png

* 混合氣體編碼為“800”,選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計(jì)和控制器,液體指純水,液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品,可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品,可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品,可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體,也可能被測控,具體請咨詢我們。