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您當(dāng)前的位置:首頁產(chǎn)品中心ALICAT 標(biāo)準(zhǔn)型氣體質(zhì)量流量計(jì) 20系列
滿量程0.5 SCCM - 10000 SLPM,優(yōu)于1%的精度,測量范圍廣,優(yōu)于10 ms響應(yīng)時(shí)間
ALICAT 20系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量計(jì),采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可用于快速精確地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測控場合。
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 泄漏檢測
● 環(huán)境監(jiān)測 ● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯 ● 半 導(dǎo) 體
● 汽車制造 ● 光 伏
● 燃料電池 ● 計(jì)量校準(zhǔn)
● 過程工藝氣體測量
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 可選高精度:優(yōu)于0.5%讀數(shù)
● 可測范圍廣,0.01~100%滿量程
● 響應(yīng)時(shí)間快,優(yōu)于10 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體,用戶可現(xiàn)場編輯混合氣體 (最多5種成分),并最多存儲20種混合氣
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 10000 SLPM
測量范圍(量程比) 0.01~100%滿量程
顯 示 屏 標(biāo)準(zhǔn)為LCD單色顯示屏(帶背光),可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度等
精 度 ± (0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)精度升級部分見左下角
± (0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程)(量程5CCM和50-500SLPM可選)
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差
重 復(fù) 性 ± (0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程)
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移 0.02%滿量程/ ℃(從25℃開始)
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移 ±(0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程)/ Atm(從校準(zhǔn)壓力開始)
響應(yīng)時(shí)間 <10 ms (與流量相關(guān))
預(yù)熱時(shí)間 < 1 s
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(環(huán)境和氣體)(可選高溫選項(xiàng),氣體100℃,環(huán)境85℃)
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ~ 95%,無冷凝
工作壓力 11.5-160PSIA
壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)(讀數(shù)>1 Atm),或 ± 0.07 PSIA(<1Atm)
耐 壓 200PSIA(靜壓);75PSID(進(jìn)出口差壓)
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)字輸出信號 RS232/RS485串口和Modbus RTU(默認(rèn));可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸出信號 0-5Vdc(默認(rèn));可選1-5Vdc,0-10Vdc或4-20mA
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率;
模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 9-24 VDC (如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出,須為12 - 24VDC)
供電電流 40mA,額外加40 mA(4 - 20 mA輸出)
電氣接口 DB9M(默認(rèn)),可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等
泄漏率(外漏) 選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 主體材質(zhì):302,303,304,316LSS;密封材質(zhì)FKM;傳感器材質(zhì)請咨詢工廠
過程接口 NPT內(nèi)螺紋(默認(rèn)),詳細(xì)規(guī)格參考壓損表;其他接口形式請咨詢
安裝方向 位置不敏感
安裝固定孔 8-32UNC螺紋,數(shù)量和孔深與量程相關(guān),具體請咨詢
防護(hù)等級 IP40(IP66可選)
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH、防爆(可選)
滿量程為0.5 SCCM -10000 SLPM,
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標(biāo)升級:
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程(取最大值)
重復(fù)性 ±(0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程)
● 標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點(diǎn)式數(shù)字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
內(nèi)置30種氣體可選
200:1量程可調(diào)比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保
● 可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
另一種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報(bào)警(過高或過低)
雙向流動
額外標(biāo)定點(diǎn)
定制混個(gè)氣體(最多4種)
定制流量范圍
滿量程標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量計(jì) | 滿量程壓損(psid) 排氣到大氣中 | 外形尺寸 | 過程接口 | 重量 |
0.5 - 50 sccm |
1.0 | 3.90''H ×2.38''W ×1.05''D | M5內(nèi)螺紋(10-32兼容) (隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭) | 0.8lb(約0.4kg) |
100 sccm - 20 slpm | 1.0 | 4.07''H ×2.38''W ×1.05'D | 1/8''NPT內(nèi)螺紋 | 1.0lb(約0.5kg) |
50 slpm | 2.0 | 4.37''H ×4.00''W ×1.60''D | 1/4''NPT內(nèi)螺紋 | 2.4lb(約1.1kg) |
100 slpm | 2.5 | |||
250 slpm | 2.1 | 4.97''H ×4.00''W ×1.60''D | 1/2''NPT內(nèi)螺紋 | 2.4lb(約1.1kg) |
500 slpm | 4.0 | 4.97''H ×4.00''W ×1.60''D | 3/4''NPT內(nèi)螺紋
| 3.5lb(約1.6kg) |
1000 slpm | 6.0 | |||
2000 slpm | 5.0 | 5.29''H ×5.20''W ×2.90''D | 4.5lb(約2.0kg) | |
3000 slpm | 7.1 | 5.29''H ×5.20''W ×2.90''D | 1-1/4''NPT內(nèi)螺紋 | 4.5lb(約2.0kg) |
5000 slpm | 3.4 | 6.27''H ×5.20''W ×3.84''D | 1-1/2''NPT內(nèi)螺紋 | 14lb(約6.4kg) |
10000slpm | 3.5 | 6.27''H ×5.20''W ×3.84''D | 1-1/2''NPT內(nèi)螺紋 | 14lb(約6.4kg) |
見“尺寸連接”。
* 混合氣體編碼為“800”,選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計(jì)和控制器,液體指純水,液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品,可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品,可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品,可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體,也可能被測控,具體請咨詢我們。