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您當(dāng)前的位置：首頁(yè)產(chǎn)品中心ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器 21Q系列
滿量程10 SCCM - 10000 SLPM），優(yōu)于2 %的精度，優(yōu)于100 ms響應(yīng)時(shí)間，適用于高壓應(yīng)用
21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標(biāo)準(zhǔn)控制器一樣，能對(duì)需要較高管線壓力（160-320 PSIA）的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門(mén)和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半 導(dǎo) 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計(jì)量校準(zhǔn) ● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量
產(chǎn)品特色
數(shù)字化產(chǎn)品
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
穩(wěn)態(tài)控制范圍廣，0. 5~100%滿量程
響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于100 ms
內(nèi)置98種氣體
可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣
量程為10 SCCM - 10000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取最大值）
測(cè)量范圍 0.1 ~ 100%滿量程
重復(fù)性 ± 0.1%滿量程
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)編輯混合氣體 （最多5種成分），并最多存儲(chǔ)20種混合氣
量 程 從0 - 10 SCCM 到 0 - 10000 SLPM
量程可控比（穩(wěn)態(tài)） 0.5% ~ 100%滿量程
顯 示 屏 標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD單色顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級(jí)見(jiàn)左下角
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差
重 復(fù) 性 ± （0.1%讀數(shù)+0.02%滿量程）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開(kāi)始）
± 0.01%滿量程/ Atm（從清零壓力開(kāi)始）
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃（從25℃開(kāi)始）
± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）
控制響應(yīng)時(shí)間（T63） ＜100 ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）
顯示響應(yīng)時(shí)間 ＜10ms（與流量相關(guān)）
預(yù)熱時(shí)間 ＜1s
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（環(huán)境和氣體）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 95%，無(wú)冷凝
工作壓力 11.5-320PSIA
壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
耐 壓 400PSIA（靜壓）；75PSID（進(jìn)出口差壓）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232/RS485串口和Modbus RTU（默認(rèn)）；可選Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus、Profinet
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5Vdc（默認(rèn)）；可選1-5Vdc，0-10Vdc或4-20mA
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40Hz@19200波特率；
模擬信號(hào)：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12 - 24VDC（與量程相關(guān)）
供電電流 0.250 -2A（與量程相關(guān)；+40mA，對(duì)于4-20mA輸出）
電氣接口 DB9M（默認(rèn)），可選DB9、DB15、6針工業(yè)接口、8針M12、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLCP選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
材 質(zhì) 主體材質(zhì)：302,303,304和316LSS；
PCV閥門(mén)材質(zhì)：430FRSS和黃銅；
R閥門(mén)材質(zhì)：410SS，Nylon和Derlin；
密封材質(zhì)FKM；
傳感器材質(zhì)請(qǐng)咨詢工廠
過(guò)程接口 NPT內(nèi)螺紋（默認(rèn)），詳細(xì)規(guī)格參考?jí)簱p表；其他接口形式請(qǐng)咨詢
安裝方向 配置R閥門(mén)需閥體垂直向上安裝，其他閥門(mén)無(wú)要求
安裝固定孔 8-32UNC螺紋，數(shù)量和孔深與量程相關(guān)，具體請(qǐng)咨詢
防護(hù)等級(jí) IP40（可選IP66）
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、UKCA、RoHS、REACH聲明、防爆 （可選）
（需另行訂購(gòu)）
● 過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
● 電源
● 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
● BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
● Flow Vision軟件
● MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
● NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
● 艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)
滿量程高壓質(zhì)量流量控制器 | 滿量程壓損（psid） 排氣到大氣中 默認(rèn)閥門(mén)配置 | 外形尺寸 | 過(guò)程接口 | 重量 |
10 SCCM | 2.8 | 3.90''H x 3.34''W x 1.05''D | M5內(nèi)螺紋（10-32兼容） （隨貨帶Buna-N面密封轉(zhuǎn)1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭） | 1.1lb（約0.5kg） |
50 SCCM | 1.0 | |||
100 SCCM ~ 500 SCCM | 1.0 | 4.07''H x 3.59''W x 1.05''D | 1/8'' NPT 內(nèi)螺紋 | 1.2lb（約0.5kg） |
1 SLPM | 1.5 | |||
2 SLPM | 3.0 | |||
5 SLPM | 2.0 | |||
10 SLPM | 5.5 | |||
20 SLPM | 20.0 | |||
50 SLPM(配置R閥門(mén)) | 2.0 | 5.50''H x 8.03''W x 2.25''D | 1/4'' NPT 內(nèi)螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
100 SLPM（配置R閥門(mén)） | 3.2 | |||
250 SLPM（配置R閥門(mén)） | 2.4 | 5.50’’H x 7.65’’W x 2.25’’D | 1/2’’ NPT 內(nèi)螺紋 | 9.0lb（約4.1kg） |
500 SLPM | 6.5 | 5.50’’H x 7.28’’W x 2.25’’D | 3/4’’ NPT 內(nèi)螺紋
| 9.0lb（約4.1kg） |
1000 SLPM | 14.0 | |||
2000 SLPM | 28.6 | 5.50’’H x 8.10’’W x 2.90’’D | 12lb（約5.4kg） | |
3000 SLPM | 16.8 | 5.50’’H x 8.90’’W x 2.90’’D | 1-1/4’’ NPT 內(nèi)螺紋 | 12lb（約5.4kg） |
5000 SLPM | 14.1 | 6.33’’H x 10.00’’W x 4.50’’D | 1-1/2’’ NPT 內(nèi)螺紋 | 28lb（約12.7kg） |
10000 SLPM | 12.0 | 6.33’’H x 9.73’’W x 4.50’’D | 1-1/2’’ NPT 內(nèi)螺紋 | 23lb（約10.4kg） |
品種齊全，上萬(wàn)種儀表
國(guó)外直銷， 原裝進(jìn)口
誠(chéng)信服務(wù)，售后保證
