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ALICAT 金屬密封型絕壓控制器 57系列

快速響應的絕壓控制。

57系列金屬密封的絕壓控制器,接液材料限制為316L,加上PCTFE -這意味著它們與許多腐蝕性氣體兼容。任何流量的外形都符合SEMI設備標準,使半導體設備的重新利用,翻新和改裝變得容易。


應用及案例

  • 半導體各種CVD鍍膜設備




產品特色

  • 接液材質316L和PCTFE,能夠兼容絕大多數(shù)腐蝕性介質。

  • 默認背壓控制選項。

  • 半導體標準尺寸,VCR 接頭與底座一體式加工,結構更加緊湊,泄漏率可達10-10 atm·cc/sec He,更好的滿足客戶需求。