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您當(dāng)前的位置：首頁(yè)產(chǎn)品中心ALICAT CVD專(zhuān)用氣體質(zhì)量流量控制器 51系列
量程0-0.5 SCCM到0-20 SLPM，量程可控比0.01%-100%，低價(jià)位，響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于30 ms，精度優(yōu)于1%
Alicat51系列質(zhì)量流量控制器是基于層流壓差原理的，利用獨(dú)特的層流元件使流體處于層流狀態(tài)，使用差壓傳感器測(cè)量流體上下游兩個(gè)位置的壓差，流量越大則壓差越大，根據(jù)泊肅葉方程計(jì)算出工況體積流量，再使用壓力和溫度傳感器讀數(shù)對(duì)體積流量進(jìn)行溫壓補(bǔ)償?shù)玫綐?biāo)況質(zhì)量流量。Alicat質(zhì)量流量控制器將流量計(jì)和電磁比例閥集成為一體，具有閉環(huán)控制回路，根據(jù)傳感器流量讀數(shù)自動(dòng)實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)閥門(mén)開(kāi)度，以快速穩(wěn)定的將流量調(diào)節(jié)到設(shè)定值。針對(duì)CVD行業(yè)特殊設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)，VCR 接頭與底座一體式加工，結(jié)構(gòu)更加緊湊，泄漏率可達(dá)10-9 atm·cc/sec He，更好的滿(mǎn)足客戶(hù)需求。
● 人造鉆石MPCVD設(shè)備
● 半導(dǎo)體各種CVD鍍膜設(shè)備
● 低價(jià)位產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、體積流量和質(zhì)量流量等
● 多參數(shù)控制：體積流量，質(zhì)量流量，壓力
● 三種控制方式：模擬、數(shù)字和本地顯示屏
● 量程可控比寬：0.01%-100%
● 內(nèi)置98種氣體
● 用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲(chǔ)20種混合氣
● 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于30ms（可調(diào)）
精度升級(jí) new! 詳情請(qǐng)咨詢(xún)
量程為 0.5 SCCM - 20 SLPM，
其中 10 0SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿(mǎn)量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿(mǎn)量程（取最大值）
重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿(mǎn)量程）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01% 滿(mǎn)量程 / ℃溫差
± 0.01% 滿(mǎn)量程 / Atm 壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀 數(shù) / ℃溫差
± 0.1 % 讀 數(shù) / Atm 壓力差
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類(lèi) 內(nèi)置了 98 種氣體，用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲(chǔ)20種混合氣；
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM（詳情請(qǐng)咨詢(xún)）
測(cè)量和控制范圍 0.01~100% 滿(mǎn)量程
精 度 ± (0.8%讀數(shù)+0.2%滿(mǎn)量程)（10sccm-20SLPM參數(shù)見(jiàn)精度升級(jí)部分）
重復(fù)性 ±（0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿(mǎn)量程）
零點(diǎn)&滿(mǎn)量程溫度漂移： 0.02% 滿(mǎn)量程 / ?C （從25 ?C開(kāi)始）
零點(diǎn)&滿(mǎn)量程壓力漂移：±(0.08% 讀數(shù) + 0.02% 滿(mǎn)量程)（從校準(zhǔn)壓力開(kāi)始）
預(yù)熱時(shí)間 <1s
響應(yīng)時(shí)間 30ms（T63,可調(diào)）
默認(rèn)標(biāo)況（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ +60 ?C
工作濕度 0-95%，無(wú)冷凝
上限工作壓力 1MPaG
極限耐壓 1.2MPaG
下限操作壓力 建議在80 KPaA 以上使用（其他請(qǐng)咨詢(xún)）
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）
供電電壓 12-24Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-24 Vdc)
供電電流 250 mA，1 A（詳情咨詢(xún)） 額外加 40 mA（ 如選4 - 20 mA）
電氣接口 DB9M
材 質(zhì) 302, 303, 304, 316L, 430FR 不銹鋼， FKM氟橡膠， 陶瓷， 銅，玻璃，金， 環(huán)氧樹(shù)脂，硅橡膠， 聚酰胺，硅
安裝方式 對(duì)位置無(wú)要求
防護(hù)等級(jí) IP40
滿(mǎn)量程 | 壓損1（psid） | 外觀尺寸(mm) | 連接接口 |
0.5sccm | 1 | 117.27H×124W ×26.67D | 1/4''VCRM |
1-5sccm | 2 | ||
10sccm | 2.8 | ||
20 sccm——500 sccm | 1.0 | ||
1 slpm | 1.5 | ||
2 slpm | 3.0 | ||
5 slpm | 2.0 | ||
10 slpm | 5.5 | ||
20 slpm | 20.0 | ||
1、在出口端通大氣的情況下。 | |||
* 混合氣體編碼為“800”，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說(shuō)明。
* 對(duì)于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品，可支持①類(lèi)氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類(lèi)氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類(lèi)氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測(cè)控，具體請(qǐng)咨詢(xún)我們。
品種齊全，上萬(wàn)種儀表
國(guó)外直銷(xiāo)， 原裝進(jìn)口
誠(chéng)信服務(wù)，售后保證
