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工業(yè)用零部件的表面處理都是相當有講究的。比如：汽車的發(fā)動機軸、氣缸套筒、高速齒輪等主要性能部件都需要進行表面氮化處理，以提高硬度、耐磨性和疲勞極限。

氮化處理是利用氨在一定溫度(500～600℃)下所分解的活性氮原子向鋼的表面層擴散，而形成鐵氮合金，從而改變工件表面的力學性能和物理、化學性質(zhì)。右圖為國內(nèi)某知名氮化爐生產(chǎn)廠家利用艾里卡特質(zhì)量流量控制器控制參與氮化爐內(nèi)反應的氨氣的質(zhì)量流量。

氨氣在400℃以上發(fā)生分解反應：2NH3→2N+3H2

分解出的氮原子被工件吸收從而形成氮化層。將被加工工件置于滲氮爐內(nèi)不銹鋼真空密封罐中，通過質(zhì)量流量控制器精密控制氨氣的輸入流量，加熱到520℃，根據(jù)工件要求的氮化層厚度保持適當?shù)臅r間，通常為10~60小時。整個過程中需要保持穩(wěn)定的氨氣流量并根據(jù)氮勢的變化迅速調(diào)節(jié)裂解氨氣的流量，由此確保滲氮爐內(nèi)穩(wěn)定的氣氛及爐壓，使得被加工部件表面氮層均勻。

                   耐腐蝕質(zhì)量流量控制器同時測量氮化爐多種變量參數(shù)

                                    質(zhì)量流量、體積流量、溫度、絕對壓力、累計流量(選配)